氪吸附實(shí)驗(yàn)裝置,，用于氪吸附材料,、吸附工藝條件的研究工作。

裝置需要完成的功能為：一定比例的氦氣,、氪(氙)氣,、氮氧混合氣與其他氣體經(jīng)精確計(jì)量后經(jīng)過吸附柱將氪吸附；流出的氣體經(jīng)恒溫器調(diào)節(jié)至室溫后進(jìn)行氪(氙)濃度分析,。

氪流量：5SLM

氦流量：30SLM

其它氣體：50sccm,，1SLM

系統(tǒng)耐壓：1MPa

吸附柱控溫范圍：-100℃至室溫，精度±2℃

電控：裝置上位機(jī)選用研華觸摸屏平板電腦,，模擬量及開關(guān)量通過西門子PLC完成采集及控制,，上位機(jī)運(yùn)行Kingview組態(tài)軟件。